Physik Instrumente (PI)線性平臺

U-523PILine®線性平臺

特點：

快速定位

省空間和重量

導向精度高

傳感器分辨率高達10 nm

自鎖，靜止時不發(fā)熱

低噪音運行

精密級線性定位平臺

PILine®工作臺特別適合需要快速精確定位的應用。關閉時，自鎖驅動器會保持平臺在機械上穩(wěn)定的位置。因此，能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著減少。這些特性使電池供電或對熱敏感的低占空比應用受益。軸的位置由編碼器測量，光學參考開關可實現(xiàn)可靠的可重復運動。壓電驅動原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。

使用增量編碼器進行高精度位置測量

非接觸式光學編碼器可以高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械游隙或彈性變形對測量沒有影響。

PILine®超聲波壓電馬達

PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動器，該壓電致動器通過一個耦合元件預加載在可移動的導向流道上。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩。致動器的變形導致聯(lián)接元件相對于轉輪周期性的對角運動。每個周期產(chǎn)生的進料為幾納米。高頻導致高速。將壓電陶瓷執(zhí)行器預緊抵在轉輪上，可在靜止和關閉時確保驅動器自鎖。

應用領域

顯微操作，自動化，生物技術，樣品處理，樣品定位，空間有限的應用，10 ^-6hPa的真空應用（可選）。

Q-521 Q?Motion®微型線性平臺

特點：

寬度僅21毫米，高度僅10毫米

帶有集成增量編碼器的直接位置測量

編碼器分辨率高達1 nm

小增量運動可達2 nm

帶轉接板或支架的多軸系統(tǒng)設置（可選）

可根據(jù)要求提供 10 ^-6 hPa的真空版本

壓電慣性驅動

壓電慣性驅動器是節(jié)省空間且價格合理的基于壓電的驅動器，具有相對較高的夾持力和幾乎無限的行程范圍。慣性驅動原理基于單個壓電致動器，該壓電致動器由特殊驅動器電子設備提供的修改后的鋸齒電壓進行控制。執(zhí)行器緩慢膨脹并移動流道。由于其慣性，轉輪無法跟隨執(zhí)行器的后續(xù)快速收縮，并保持在其位置。驅動器的高工作頻率為20 kHz，直接作用在轉輪上并達到大速度。6毫米/秒

真空

 可根據(jù)要求提供10 ^-6 hPa的真空版本。

直接測量原理

線性位移臺配有非接觸式測量光學線性編碼器和參考開關。分辨率為4 nm或1 nm，具體取決于版本。 

應用領域

微型裝配，光子學，光學對準，顯微鏡，光束線儀器，半導體技術，測試

H-811.F2 6軸微型六腳架

特點：

行程范圍為±17毫米/±21°

設計緊湊

可移動磁性板

高動態(tài)和高精度

可自由編程的虛擬樞軸點

的使用壽命

六自由度的并聯(lián)運動學設計使其比串聯(lián)運動學系統(tǒng)更加緊湊和堅固，動態(tài)范圍更大，電纜沒有移動：更高的可靠性，減少了摩擦

無刷直流電機（BLDC）

無刷直流電動機特別適合于高轉速。可以非常精確地控制它們并確保高精度。由于無需滑動觸點，因此它們運行平穩(wěn)，無磨損，因此使用壽命長。

應用領域

研究和工業(yè)，微制造，光纖對準和光學組件的對準。

廣泛的軟件包

供貨范圍內(nèi)提供的軟件包允許將系統(tǒng)集成到幾乎所有環(huán)境中。支持所有常見的操作系統(tǒng)，例如Windows，Linux和macOS，以及許多常見的編程語言，包括Python，MATLAB和NI LabVIEW。得益于復雜的程序示例和軟件工具（如PIMikroMove）的使用，開始集成和生產(chǎn)操作之間的時間大大縮短了。

可移動磁性板

加快您的工作流程。下一個工件可以平行于我們的自動化處理步驟進行準備。可拆卸磁性板無需工具即可快速拆卸，然后每次都可以準確地重新組裝。

PI P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器

特點：

緊湊：表面44毫米×44毫米

行程范圍為120 µm×120 µm

分辨率至0.2 nm

特別便宜的系統(tǒng)（機械和控制器）

零間隙，高精度撓曲導向系統(tǒng)

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

也提供線性和Z載物臺，以及XYZ版本

應用領域：

干涉儀

顯微鏡檢查

納米定位

生物技術

測試程序和質量保證

光子學

光纖定位

半導體技術

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

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