我們的POLOS®單晶圓旋涂機(jī)有NPP或PTFE兩種材質(zhì)。這些高質(zhì)量的旋涂機(jī)專為MEMS，半導(dǎo)體，生命科學(xué)，PV，微流體等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。適用于所有典型的旋轉(zhuǎn)工藝：清潔、漂洗/干燥、涂層、顯影、載玻片和蝕刻。

POLOS SPIN150i NPP

通過(guò)大型彩色觸摸屏進(jìn)行簡(jiǎn)單的分步配方編程

帶注射器支架的透明蓋子，用于中央分配

高加速度和高精度

手動(dòng)化學(xué)品分配

產(chǎn)品編號(hào)41096

材料天然聚丙烯

基板尺寸?150 mm 或 4“ x 4" 方形基板

產(chǎn)品描述

      POLOS SPIN150i是一款多功能的高質(zhì)量基材旋涂機(jī)，由PTFE或NPP制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。用于手動(dòng)或自動(dòng)（可選）化學(xué)品分配的桌面版本。

適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI等工藝

規(guī)格：

高達(dá) 6“ （150 mm） 晶圓

高達(dá) 4“ x 4" （100 mm） 方形基板

材料：天然聚丙烯（NPP）

通過(guò)大型彩色觸摸屏進(jìn)行簡(jiǎn)單的分步配方編程

產(chǎn)品特點(diǎn)

1．電機(jī)勵(lì)磁和電樞分開(kāi)供電。勵(lì)磁用12伏直流穩(wěn)壓電源供電，電樞用運(yùn)放控制IRF830調(diào)速，它比可控硅調(diào)速*，故其轉(zhuǎn)速在500—8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

2．本勻膠機(jī)有兩檔轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后，先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)，然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩檔速度及運(yùn)行時(shí)間分別可調(diào)。

3．本勻膠機(jī)采用光電檢測(cè)，數(shù)字電路測(cè)速，對(duì)電機(jī)的轉(zhuǎn)速檢測(cè)快速準(zhǔn)確。電機(jī)穩(wěn)速方面采用了光電隔離的精密負(fù)反饋電路，使整機(jī)在高達(dá)8000RPM以上轉(zhuǎn)速時(shí)仍十分穩(wěn)定，有力的保證了勻膠質(zhì)量。

4．“吸片"采用電子開(kāi)關(guān)控制電磁閥完成氣路通斷，這樣適合流水線工藝，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作，提高效率。

5．勻膠機(jī)定時(shí)采用可調(diào)定時(shí)電路控制，面板上調(diào)節(jié)Timer旋鈕即可改變勻膠時(shí)間。

6．在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，因而勻膠機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低。

7．電磁閥與電機(jī)運(yùn)行有連鎖功能，電磁閥未動(dòng)作不能啟動(dòng)電機(jī)運(yùn)行，本次勻膠電機(jī)未停不能進(jìn)行下次勻膠，若運(yùn)行中誤按“CONTROL"鍵也不能停止吸氣，即不會(huì)產(chǎn)生跑片。

由于采用了以上一系列措施，故本機(jī)具有很高的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性和快速啟動(dòng)性，可以保證涂覆表面均勻，并可通過(guò)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。

POLOS 300 高級(jí)單基板旋轉(zhuǎn)處理器，臺(tái)式機(jī)版本或集成商型號(hào)，自動(dòng)化學(xué)品分配，重型電機(jī)。這種革命性的旋涂機(jī)系列可用作您工藝的全自動(dòng)解決方案。由于采用天然聚丙烯和 PTFE 制成的全塑料外殼，它支持多種流體。它適用于處理小至 5 mm 的碎片，甚至適用于處理小至 5 mm 的碎片。

適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 和其他工藝

SPS(POLOS)旋涂機(jī)的工作原理