PI P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)

：PI(Physik Instrumente)
公司簡(jiǎn)介：
   德國(guó)PI公司是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
   PI不僅開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺(tái)和執(zhí)行器，用于線(xiàn)性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶(hù)特定的應(yīng)用或提供用于運(yùn)動(dòng)和定位的成品子系統(tǒng)。

Physik Instrumente P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)

P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)

§ 6個(gè)運(yùn)動(dòng)軸：3個(gè)為線(xiàn)性，3個(gè)為旋轉(zhuǎn)

§ 行程達(dá)200微米（線(xiàn)性）和1毫弧度（偏 擺角）

§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來(lái)gao線(xiàn)性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ 優(yōu)異的掃描平面度

§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽 命

§ 超高真空兼容至10-9百帕

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描顯微鏡

§ 超分辨率顯微鏡

§ 生物技術(shù)

§ 掩模/晶圓定位

§ 樣本定位

§ 干涉測(cè)量

§ 計(jì)量

訂購(gòu)信息

P-562.6CD

PIMars6軸納米定位系統(tǒng)，200微米，1毫弧度，平行計(jì)量 可按需提供其他行程。

PI P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺(tái)系統(tǒng)